特許

J-GLOBAL ID：200903040875820815

電子線投影露光用レチクル及び電子線露光装置及び洗浄方法

発明者： 神高 典明 ,  近藤 洋行
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-131522
公開番号（公開出願番号）：特開平11-329931
出願日： 1998年05月14日
公開日（公表日）： 1999年11月30日
要約：

【要約】【課題】レチクルのカーボン汚れの洗浄が必要であるか否かを判断するために、また、洗浄が十分であるかどうかを判断するために、この汚れを容易に検出する手段が望まれていた。【解決手段】レチクル上に形成 されたパターンを電子線によって感応基板上に投影する電子線投影露光に用いるレチクル201において、レチクル201表面には各々の間の電気抵抗が測定できるように各々が面内で接しないように形成された複数の金属薄膜が形成されることを特徴とする電子線投影露光用レチクル。

請求項（抜粋）：

レチクル上に形成されたパターンを電子線によって感応基板上に投影する電子線投影露光に用いるレチクルにおいて、前記レチクル表面には各々の間の電気抵抗が測定できるように各々が面内で接しないように形成された複数の金属薄膜が形成されることを特徴とする電子線投影露光用レチクル。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G03F 1/08 ,  G03F 1/16 ,  G03F 7/20 504

FI (4件)：

H01L 21/30 541 B ,  G03F 1/08 X ,  G03F 1/16 B ,  G03F 7/20 504