半同軸共振器型測定治具及び誘電体薄膜の電気的物性値測定方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-312166
公開番号（公開出願番号）：特開2005-198253
出願日： 2004年10月27日
公開日（公表日）： 2005年07月21日
要約：

【課題】マイクロ波帯やミリ波帯において、誘電体薄膜の比誘電率、誘電正接などの誘電定数や、抵抗率といった電気的物性値を高精度で測定することが可能な半同軸共振器型測定治具及び誘電体薄膜の電気的物性値測定方法を提供する。【解決手段】円筒外部導体1と、前記円筒外部導体1の一端面を閉じるための、取り外し可能な導体薄膜7と、前記円筒外部導体1の他端面に接続された蓋と、前記蓋の内面に接続され、円筒の中心軸に沿って延びる中心内部導体3とを備え、前記中心内部導体3の先端は、導体薄膜7に設置された誘電体薄膜8に接触可能であり、前記中心内部導体3の先端が先細り形状である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

円筒外部導体と、前記円筒外部導体の一端面を閉じるための、取り外し可能な第1の導体と、前記円筒外部導体の他端面に接続された第2の導体と、前記第2の導体の内面に接続され、円筒の中心軸に沿って延びる中心内部導体とを備え、前記中心内部導体の先端は、前記円筒外部導体の一端面を構成する第1の導体に設置される誘電体薄膜に接触可能に構成され、前記中心内部導体の先端が先細形状であることを特徴とする半同軸共振器型測定治具。

IPC (3件)：

H01P7/04 , G01N22/00 , G01R27/26

FI (4件)：

H01P7/04 , G01N22/00 F , G01N22/00 Y , G01R27/26 H

Fターム (18件)：

2G028AA01 , 2G028BB05 , 2G028BC02 , 2G028BF08 , 2G028CG02 , 2G028CG09 , 2G028CG13 , 2G028CG14 , 2G028DH14 , 2G028DH15 , 2G028EJ01 , 2G028FK01 , 2G028FK03 , 2G028FK07 , 5J006HA02 , 5J006HA14 , 5J006LA02 , 5J006NA02

引用特許：

出願人引用 (1件)

半同軸共振器および半同軸共振器ろ波器
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-114278 出願人：福島日本電気株式会社

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