特許
J-GLOBAL ID：200903040894807730
真空チャンバ内で被位置決め部材を位置決めする方法、およびこの方法を実現するための位置決め装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (7件)：
鈴江 武彦
, 村松 貞男
, 坪井 淳
, 橋本 良郎
, 河野 哲
, 中村 誠
, 河井 将次
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-327128
公開番号（公開出願番号）：特開2004-164922
出願日： 2002年11月11日
公開日（公表日）： 2004年06月10日
要約：
【課題】この発明は、真空チャンバ内に配置された被位置決め部材を真空状態を維持しつつ確実且つ正確に位置決めできる位置決め方法、およびこの方法を実現するための位置決め装置を提供することを課題とする。【解決手段】位置決め装置20は、FEDの前面基板11を保持した搬送機構22および背面基板12を保持したリフター23を配置する真空チャンバ21を有する。真空チャンバ21は、第1フレーム25に支持固定されている。第1フレーム25と別体の第2フレーム35には、真空チャンバ21の外側から、搬送機構22を支持した支持ロッド31、リフター23を支持した支持ロッド36、および検出装置が取り付けられている。真空チャンバ21の外で、ジャッキボルト33を操作して前面基板11の水平出しを行い、アジャスター39を操作して背面基板12の水平出しを行う。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
真空チャンバ内に配置された被位置決め部材を、上記真空チャンバを外部と連絡する連絡部材を通して設けられた支持機構により支持し、上記真空チャンバの外側で上記支持機構を操作して、上記被位置決め部材を位置決めする方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (3件)：
5C012AA05
, 5C012BC03
, 5C012BC04
