特許
J-GLOBAL ID：200903040895524384
静電容量型圧力センサ及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中野 雅房
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-074310
公開番号（公開出願番号）：特開平7-260611
出願日： 1994年03月18日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：
【要約】【構成】 誘電体層2を挟んで接合された支持基板1a,1bにそれぞれダイアフラム3a,3bを設け、各ダイアフラム3a,3bの内面に可動電極4a,4bを形成する。ダイアフラム3a,3b間の空間は外気と完全に遮断された密閉空間7とし、密閉空間7は真空に保持させる。一方のダイアフラム3aの外面には基準圧力P0を導き、他方のダイアフラム3bの外面には測定圧力Pを導き、可動電極4a,4b間の静電容量の変化から圧力を検出する。【効果】 可動電極間は密閉空間となっていて測定圧力等を導かない構造にしているので、圧力を導入するための媒体によって可動電極間の誘電率や可動電極の導電率が変化したり、可動電極間に不純物や汚れ等が捕獲されたりすることがなく、圧力センサの出力特性が安定する。
請求項（抜粋）：
2つのダイアフラムをギャップを隔てて対向させ、当該ダイアフラム間に形成した密閉空間を真空に保ち、当該密閉空間内において両ダイアフラムにそれぞれ可動電極を形成したことを特徴とする静電容量型圧力センサ。
IPC (2件)：
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