特許

J-GLOBAL ID：200903040897344847

液晶表示素子の加工方法

発明者： 鈴木 堅吉 ,  松田 正昭 ,  荻野 利男
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 武 顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-128160
公開番号（公開出願番号）：特開平8-320482
出願日： 1995年05月26日
公開日（公表日）： 1996年12月03日
要約：

【要約】【目的】非接触の手段で大面積に亘ってカラーフィルター基板の高精度の平坦化を実現し、高画質の液晶表示素子を得る。【構成】基板2上にブラックマトリクスで区画された複数色のカラーフィルタ層3を形成した後、その表面にエキシマレーザー光4を照射し、エキシマレーザー光4のアブレーション現象を用いてカラーフィルタ層3の凸部3aを切削し除去して平坦に加工する。

請求項（抜粋）：

基板上にブラックマトリクスで区画された複数色のカラーフィルタ層を形成した後、前記カラーフィルタの全面に保護膜を積層してなるカラーフィルタ基板を具備した液晶表示素子の加工方法において、前記保護膜の表面にエキシマレーザー光を照射し、エキシマレーザー光のアブレーション現象を用いて前記保護膜の凸部を切削して平坦に加工することを特徴とする液晶表示素子の加工方法。

IPC (2件)：

G02F 1/1335 505 ,  G02B 5/20 101

FI (2件)：

G02F 1/1335 505 ,  G02B 5/20 101