特許
J-GLOBAL ID：200903040898321476

プラズマ発生電極及びプラズマ反応器

発明者：
藤岡 靖昌

藤岡 靖昌 について

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桝田 昌明

桝田 昌明 について

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近藤 厚男

近藤 厚男 について


出願人/特許権者：
日本碍子株式会社

日本碍子株式会社 について

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本田技研工業株式会社

本田技研工業株式会社 について


代理人 (1件)： 渡邉 一平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-432284
公開番号（公開出願番号）：特開2005-188424
出願日： 2003年12月26日
公開日（公表日）： 2005年07月14日
要約：
【課題】局所的にプラズマ発生電極に温度差が生じた場合であっても、熱応力を緩和して、温度変化による電極の歪みや破損を有効に防止することができるとともに、均一かつ安定なプラズマを発生させることが可能であり、耐熱性に優れたプラズマ発生電極及びプラズマ反応器を提供する。【解決手段】互いに対向する電極2,2のうちの少なくとも一方が、誘電体となる板状のセラミック体と、セラミック体の内部に配設された導電膜とを有するとともに、保持部材3が、対向する電極2の一方の端部(固定端部5a)を片持ち梁の状態で固定して、全体として電極2のそれぞれを、互い違いに向きの異なった片持ち梁の状態で、所定間隔に隔てて保持し、且つプラズマ電極の組立時及び/又はプラズマ発生時に電極2の他方の端面(自由端部5b)を、保持部材3と接触状態にする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
互いに対向する二以上の電極と、前記電極のそれぞれを所定間隔に隔てて保持する保持部材とを備えてなり、前記電極相互間に電圧を印加することによってプラズマを発生させることが可能なプラズマ発生電極であって、 互いに対向する前記電極のうちの少なくとも一方が、誘電体となる板状のセラミック体と、前記セラミック体の内部に配設された導電膜とを有するとともに、 前記保持部材が、対向する前記電極の一方の端部(固定端部)を片持ち梁の状態で固定して、全体として前記電極のそれぞれを、互い違いに向きの異なった片持ち梁の状態で、所定間隔に隔てて保持し、且つ前記プラズマ電極の組立時及び/又はプラズマ発生時に前記電極の他方の端面(自由端部)が、前記保持部材と接触状態にあるプラズマ発生電極。
IPC (7件)：
F01N3/08 ,  B01D53/34 ,  B01D53/56 ,  B01D53/74 ,  B01J19/08 ,  F01N3/02 ,  H05H1/24
FI (6件)：
F01N3/08 C ,  B01J19/08 E ,  F01N3/02 301F ,  H05H1/24 ,  B01D53/34 ,  B01D53/34 129C
Fターム (27件)：
3G090AA01 ,  3G090AA06 ,  3G090BA01 ,  3G090CA03 ,  3G091AB14 ,  3G091BA10 ,  3G091BA13 ,  3G091BA14 ,  3G091BA15 ,  3G091BA19 ,  3G091GB17Z ,  4D002AA08 ,  4D002AA12 ,  4D002AA33 ,  4D002BA07 ,  4G075AA03 ,  4G075AA37 ,  4G075CA15 ,  4G075CA47 ,  4G075DA02 ,  4G075DA18 ,  4G075EC21 ,  4G075EE12 ,  4G075FB02 ,  4G075FB04 ,  4G075FC11 ,  4G075FC15
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (8件)
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