ウェハー処理装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡田数彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-309685
公開番号（公開出願番号）：特開平8-148540
出願日： 1994年11月18日
公開日（公表日）： 1996年06月07日
要約：

【要約】【目的】装置内の各機構の滞留時間を少なくしてウェハーの処理能力を一層向上させることが出来、しかも、カセットの搬入・搬出を効率的に行なうことによって製造ラインの処理能力の向上に寄与することが出来るウェハー処理装置を提供する。【構成】トランスファーユニット(1)、ストッカーユニット(2)、アームユニット(3)及びチャンバーユニット(4)を順次に配置して構成されるウェハー処理装置であって、ストッカーユニット(2)は、上下方向に配列された階層構造の昇降可能なステージ(21)、(21)...を備え、当該ステージにより、複数のカセット(C)、(C)...を貯溜する様になされている。

請求項（抜粋）：

ウェハー(W)がカセット(C)に収容された状態で搬入され且つ搬出されるウェハー処理装置において、複数のカセット(C)の貯溜領域としてのストッカーユニット(2)がカセット(C)の搬入および搬出に関与する位置に設けられていることを特徴とするウェハー処理装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , B65G 49/07 , H01L 21/02

引用特許：

審査官引用 (6件)

処理システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-062905 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
移替装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-250579 出願人：三菱電機株式会社
処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-081329 出願人：東京エレクトロン東北株式会社

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