モールド、インプリント装置および構造体の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長尾達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-023331
公開番号（公開出願番号）：特開2008-168641
出願日： 2008年02月01日
公開日（公表日）： 2008年07月24日
要約：

【課題】光硬化樹脂の硬化を意図していない領域の硬化を低減、あるいは抑制することができるモールド等を提供する。【解決手段】光硬化性の被加工物の形状を、凹凸パターンを有するモールドの該凹凸パターンが反転した形状にし、前記モールドを介して前記被加工物を硬化させるための光を照射して、前記被加工物に加工を施すインプリント装置に用いられるモールドにおいて、凹凸パターンを有する加工面と、前記加工面に相対する裏面と、前記凹凸パターンが設けられていない非パターン部とを有し、前記非パターン部を構成する前記モールドの側面には、該側面を介して前記被加工物に照射される光を減ずるための遮光部材が設けられている構成とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

光硬化性の被加工物の形状を、凹凸パターンを有するモールドの該凹凸パターンが反転した形状にし、前記モールドを介して前記被加工物を硬化させるための光を照射して、前記被加工物に加工を施すインプリント装置に用いられるモールドにおいて、凹凸パターンを有する加工面と、前記加工面に相対する裏面と、前記凹凸パターンが設けられていない非パターン部とを有し、前記非パターン部を構成する前記モールドの側面には、該側面を介して前記被加工物に照射される光を減ずるための遮光部材が設けられていることを特徴とするモールド。

IPC (5件)：

B29C 59/02 , H01L 21/027 , B29C 39/22 , B29C 33/38 , B81C 5/00

FI (5件)：

B29C59/02 Z , H01L21/30 502D , B29C39/22 , B29C33/38 , B81C5/00

Fターム (50件)：

3C081AA17 , 3C081BA09 , 3C081CA37 , 3C081DA43 , 4F202AF01 , 4F202AG05 , 4F202AJ02 , 4F202AJ03 , 4F202AJ09 , 4F202CA19 , 4F202CB01 , 4F202CD21 , 4F202CD30 , 4F202CK90 , 4F204AA44 , 4F204AC05 , 4F204AF01 , 4F204AG02 , 4F204AG05 , 4F204AH33 , 4F204AH73 , 4F204AJ02 , 4F204AJ03 , 4F204AJ06 , 4F204AJ09 , 4F204AM33 , 4F204EA03 , 4F204EA04 , 4F204EB01 , 4F204EK01 , 4F204EK17 , 4F204EK18 , 4F204EK21 , 4F204EK24 , 4F204EW02 , 4F204EW22 , 4F204EW50 , 4F209AA44 , 4F209AF01 , 4F209AG05 , 4F209AH33 , 4F209AH73 , 4F209PA02 , 4F209PB01 , 4F209PC01 , 4F209PC05 , 4F209PN06 , 4F209PN09 , 4F209PQ11 , 5F046AA28

引用特許：

出願人引用 (1件)

特開平2-289311

審査官引用 (1件)

特開平2-289311

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