特許
J-GLOBAL ID：200903040903196480
インクジェット記録ヘッドの吐出口面処理方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-232777
公開番号（公開出願番号）：特開平9-076512
出願日： 1995年09月11日
公開日（公表日）： 1997年03月25日
要約：
【要約】【課題】 レジストパターンの溶出を容易にすることによって、容易に液流路を形成すること。【解決手段】 ナフトキノンジアジド誘導体を含有するポジ型フォトレジストによりノズルパターンの固体層が設けられた基板上に、硬化型の液流路形成用材料を被覆して硬化させ、しかる後にノズルパターンの固体層を除去することによりノズルを形成する工程において、硬化型の液流路形成用材料を硬化した後、流路型材である固体層のナフトキノンジアジト誘導体を含有するポジ型フォトレジストを、吐出口表面処理剤とは相溶しない液体で膨潤した後、吐出口表面処理剤を含有する液体の塗布を行うインクジェット記録ヘッドの製造方法。
請求項（抜粋）：
ナフトキノンジアジド誘導体を含有するポジ型フォトレジストによりノズルパターンの固体層が設けられた基板上に、硬化型の液流路形成用材料を被覆して硬化させ、しかる後にノズルパターンの固体層を除去することによりノズルを形成する工程、および吐出エネルギー発生素子形成工程を包含するインクジェット記録ヘッドの製造方法において、硬化型の液流路形成用材料を硬化した後、流路型材である固体層のナフトキノンジアジド誘導体を含有するポジ型フォトレジストを、吐出口表面処理剤とは相溶しない液体で膨潤した後、吐出口表面処理剤を含有する液体の塗布を行うことを特徴とするインクジェット記録ヘッドの表面処理方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B41J 3/04 103 H
, B41J 3/04 103 B
