特許

J-GLOBAL ID：200903040910788539

インクジェットプリンタヘッド製造方法

発明者： 鈴木 伊左雄
出願人/特許権者： 東芝テック株式会社
代理人 (1件)： 柏木 慎史 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-338946
公開番号（公開出願番号）：特開2001-150686
出願日： 1999年11月30日
公開日（公表日）： 2001年06月05日
要約：

【要約】【課題】 オリフィスが形成されるベースフィルム上フッ素含有膜をエキシマレーザ光によるアブレーションが可能となるように極力薄くしても、一連のヘッド製造工程においてフッ素含有膜を傷つけず、良好なるオリフィスを形成できるようにする。【解決手段】 エキシマレーザ光によるアブレーションが可能な樹脂製のベースフィルム51の片面にフッ素含有膜52を形成する工程と、エキシマレーザ光によるアブレーションが可能で片面に粘着剤53が塗布された樹脂製の保護フィルム54をベースフィルム51のフッ素含有膜52面側に貼り合せてフィルム体55を形成する工程と、フィルム体55を所望の形状に切断する工程と、切断されたフィルム体55のベースフィルム51側の外面を圧力発生室7の端面3aに接着する工程と、フィルム体55にエキシマレーザ光を照射してオリフィスを形成する工程と、ベースフィルムから保護フィルムを剥離する工程と、よりなる。

請求項（抜粋）：

エキシマレーザ光によるアブレーションが可能な樹脂製のベースフィルムの片面にフッ素含有膜を形成する工程と、エキシマレーザ光によるアブレーションが可能で片面に粘着剤が塗布された樹脂製の保護フィルムを前記ベースフィルムの前記フッ素含有膜が形成された面側に貼り合せてフィルム体を形成する工程と、前記フィルム体を所望の形状に切断する工程と、切断された前記フィルム体の外面のうちで前記ベースフィルム側の外面を圧力発生室端面に接着する工程と、前記フィルム体にエキシマレーザ光を照射してオリフィスを形成する工程と、前記ベースフィルムから前記保護フィルムを剥離する工程と、よりなることを特徴とするインクジェットプリンタヘッド製造方法。

IPC (4件)：

B41J 2/135 ,  B23K 26/00 ,  B23K 26/00 330 ,  B23K101:36

FI (4件)：

B23K 26/00 H ,  B23K 26/00 330 ,  B23K101:36 ,  B41J 3/04 103 N

Fターム (14件)：

2C057AF24 ,  2C057AF70 ,  2C057AF93 ,  2C057AG07 ,  2C057AG12 ,  2C057AP02 ,  2C057AP13 ,  2C057AP22 ,  2C057AP23 ,  2C057AP60 ,  4E068AE00 ,  4E068AF00 ,  4E068CF03 ,  4E068DA09

引用特許：

審査官引用 (2件)

• インクジェットプリントヘッド
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平8-509993   出願人：ザールリミテッド
• インクジェットヘッドのノズル作成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-149946   出願人：株式会社リコー