イメージセンサ組み込み集積回路装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山口巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-252645
公開番号（公開出願番号）：特開平5-095099
出願日： 1991年10月01日
公開日（公表日）： 1993年04月16日
要約：

【要約】【目的】イメージセンサとそれに関連するアナログ回路部およびディジタル回路部を含む集積回路装置においてディジタル回路部で発生するノイズが電源線を介してアナログ回路部の動作に及ぼす悪影響を防止する。【構成】アナログ回路部とディジタル回路部に対する金属からなる遮光膜を利用して、ディジタル回路部用の電源線と分離して電源端子から大面積で低抵抗の遮光膜を介してアナログ回路部に電源電圧を供給することにより、ディジタル回路部の電源線にスイッチングノイズが乗ってもアナログ回路部に侵入してその動作に悪影響を与えることがないようにする。

請求項（抜粋）：

イメージセンサとそれに関連するアナログおよびディジタルな信号をそれぞれ扱うアナログ回路部およびディジタル回路部を含む集積回路装置であって、集積回路を構成する回路要素の上側に第1の金属膜と第2の金属膜を順次に配設し、下側の第1の金属膜により回路要素間を相互に接続するとともに外部に対する接続端子を導出し、上側の第2の金属膜をイメージセンサを除いてアナログ回路部とディジタル回路部を覆う遮光膜に形成するとともに回路要素用の半導体層が作り込まれた半導体領域と同電位の電源端子および第1の金属膜中のアナログ回路部に対する電源供給用の上記と同電位の配線部と接続したことを特徴とするイメージセンサ組み込み集積回路装置。

IPC (3件)：

H01L 27/14 , H01L 27/04 , H04N 5/335

FI (2件)：

H01L 27/14 Z , H01L 27/14 K

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平3-060073
特開昭58-107671
特開平1-094646

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