基板処理装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉谷勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-155904
公開番号（公開出願番号）：特開平10-004079
出願日： 1996年06月18日
公開日（公表日）： 1998年01月06日
要約：

【要約】【課題】第1、第2の一連の基板処理を好適に行う基板処理装置を提供する。【解決手段】第1のカップ1の上方に、2つの分離片2a、2bに分離可能に構成された第2のカップ2が設けられている。第2のカップ2は、閉じた状態と、分離片2a、2bに分離されて開かれた状態に開閉自在に構成されている。基板Wを回転可能に保持するスピンチャック3は、第1、第2のカップ1、2に対して昇降可能に構成されている。スピンチャック3が第1のカップ1内に位置されて第1の基板処理が行われ、スピンチャック3が第2のカップ2内に位置されて第2の基板処理が行われる。スピンチャック3の昇降時には第2のカップ2は開かれて、スピンチャック3との干渉を避け、第2の基板処理時には、第2のカップ2は閉じられて第1の基板処理雰囲気と分離される。

請求項（抜粋）：

複数の基板処理を行うための基板処理装置であって、基板を回転可能に保持する基板保持手段と、第1の基板処理を行う際に用いるカップであり、基板を保持した基板保持手段が通過し得る開口を上部に有する第1のカップと、前記第1の基板処理と異なる第2の基板処理を行う際に用いるカップであり、前記第1のカップの上方に配置され、複数に分離可能に構成した第2のカップと、前記第2のカップを閉じた状態と複数に分離して開いた状態とに、前記第2のカップを開閉させるカップ開閉手段と、前記基板保持手段が前記第1のカップ内に位置する状態と、前記基板保持手段が前記第2のカップ内に位置する状態とを採り得るように、前記基板保持手段と、前記第1のカップ及び前記第2のカップとを相対昇降させる昇降手段と、を備えたことを特徴とする基板処理装置。

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