バイナリーオプティクス及びそれを用いた集光光学系並びにレーザ加工装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大島陽一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-305090
公開番号（公開出願番号）：特開平9-061610
出願日： 1995年10月30日
公開日（公表日）： 1997年03月07日
要約：

【要約】【課題】ビーム形状が円形で、強度分布が山型の、または高次モードのレーザ光からビーム形状が矩形、線状図形などの所望の形状をなし、強度分布が均一なレーザビームを効率良く得ることが可能なバイナリーオプティクス、または集光光学系を提供すること及びこれらを用いて効果的なレーザ加工を可能とするレーザ加工装置を提供する。【解決手段】素子内の各位置に於ける回折格子の配列方向とピッチとが、入射光の形状及び強度分布と、変換したい出射光の形状及び強度分布とに対応させて設計されたバイナリーオプティクス及びこれを用いた光学系により、所望の断面形状を有するレーザビームを容易に、かつエネルギーの損失なく変換することができることから、レーザ加工プロセスを有利にすると共に、効率の高い加工が可能になる。更に、かかる構成のレーザ装置は、レーザ加工プロセスを有利にすると共に、効率の高い加工が可能になる。

請求項（抜粋）：

回折格子よりなるバイナリーオプティクスに於て、当該バイナリーオプティクス上の各位置に於ける回折格子の配列方向とピッチとが、入射光の形状及び強度分布と、変換したい出射光の形状及び強度分布とに対応させて設計されていることを特徴とするバイナリーオプティクス。

IPC (2件)：

G02B 5/18 , B23K 26/06

FI (3件)：

G02B 5/18 , B23K 26/06 E , B23K 26/06 Z

引用特許：

審査官引用 (20件)

特開平4-243213
特開平2-117791
特開平3-210521

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