特許

J-GLOBAL ID：200903040924379046

白色干渉縞の色変化測定による光路差決定方法

発明者： 豊岡 了 ,  早坂 伸明 ,  潟口 宗秀 ,  小林 富美男
出願人/特許権者： 埼玉大学長 ,  富士写真光機株式会社
代理人 (1件)： 川野 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-071060
公開番号（公開出願番号）：特開平9-236404
出願日： 1996年03月01日
公開日（公表日）： 1997年09月09日
要約：

【要約】【目的】 2系の白色光の干渉に基づく干渉色から得られたスペクトル分布と該2系の白色光の光路差との関係から所定の次元の位相空間上にスケール曲線を形成し、該スケール曲線に基づき、光路差未知の光によって生じるスペクトル分布から該2系の光の光路差を求めることで、干渉色からの光路差の推定を定量的かつ簡易なものとする。【構成】 光路差0から1000nmまでの干渉色を5nmおきに201枚作成し、それぞれ10nmおきにサンプリングした31次元データベクトルをもとに相関行列の固有値を計算し、これにより7つの基底ベクトルを求める。視覚的に表現可能な空間は3次元までであるので、ここではこれらのデータを第1、第2および第4基底ベクトルが張る3次元空間上に展開した図で表す。このようにして形成されたスケール曲線に基づき、干渉色に応じたスペクトル分布から光路差を求める。

請求項（抜粋）：

2系の白色光の干渉により得られた白色干渉縞の干渉色をスペクトル分析し、この分析により得られた、多次元位相空間ベクトルとして表されるスペクトル分布を、前記2系の光の光路差との関係に基づき所定次元の位相空間上に展開し、これにより該所定次元の位相空間上に干渉色と光路差との関係を表すスケール曲線を形成しておき、該スケール曲線に基づき、光路差未知の2系の光によって生じるスペクトル分布から、該2系の光の光路差を決定することを特徴とする白色干渉縞の色変化測定による光路差決定方法。

IPC (4件)：

G01B 9/02 ,  G01J 9/00 ,  G02B 21/00 ,  G02B 21/14

FI (4件)：

G01B 9/02 ,  G01J 9/00 ,  G02B 21/00 ,  G02B 21/14