特許

J-GLOBAL ID：200903040926039730

ウエハ収納ユニット

発明者： 奥村 省吾
出願人/特許権者： 沖電気工業株式会社 ,  宮崎沖電気株式会社
代理人 (1件)： 大垣 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-107606
公開番号（公開出願番号）：特開2002-305224
出願日： 2001年04月05日
公開日（公表日）： 2002年10月18日
要約：

【要約】【課題】 ウエハが傾いたり、ウエハが受け渡し高さとずれている場合であっても、ウエハの位置を直接的に検知して判断することにより、搬送トラブルが発生しない。【解決手段】 ウエハ12を収納するキャリア14と、キャリアとは別個に設置されウエハの所定部分までの距離を直接に測定する測定部18と、キャリアの傾きを変化させ、ウエハを所定の傾きに修正するチルト機構20とを具えている。測定部は、一つの距離測定素子により構成されていると共に、ウエハの所定部分は、ウエハの主表面のうち受け渡し口26に近い部分である。また、チルト機構は、ウエハの主表面のうち受け渡し口に遠い部分と比較して、ウエハ前部が、相対的に大きく上下に可動な構造を有している。

請求項（抜粋）：

ウエハを収納するキャリアを具え、所定の受け渡し高さにおいて該キャリアの受け渡し口より受け渡し方向に該ウエハの受け渡しを行うウエハ収納ユニットにおいて、前記キャリアとは別個に設置され、前記ウエハの所定部分までの距離を、該ウエハ自体に対し、直接、測定する測定部と、前記キャリアの傾きを変化させ、前記ウエハを所定の傾きに修正するチルト機構とを具えることを特徴とするウエハ収納ユニット。

Fターム (24件)：

5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031GA02 ,  5F031GA42 ,  5F031GA46 ,  5F031GA49 ,  5F031JA02 ,  5F031JA03 ,  5F031JA05 ,  5F031JA06 ,  5F031JA13 ,  5F031JA14 ,  5F031JA17 ,  5F031JA25 ,  5F031JA32 ,  5F031KA12 ,  5F031KA15 ,  5F031KA20 ,  5F031LA12 ,  5F031PA13 ,  5F031PA24