特許
J-GLOBAL ID:200903040927769988

非接触式微小領域歪測定方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 吉田 研二 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-070676
公開番号(公開出願番号):特開平9-257465
出願日: 1996年03月26日
公開日(公表日): 1997年10月03日
要約:
【要約】【課題】 簡易かつ高精度で微小領域の大歪量を計測する方法を提供する。【解決手段】 被測定物に4点A,B,C,Dを定め、この被測定物を変形させた後で4点A,B,C,Dに対応する点E,F,G,Hの位置を測定する。次にE点をA点に重ねるように四角形EFGHを平行移動させ、その時の点EF間のX軸方向の距離及び点EH間のY軸方向の距離Lx ,Ly を点F、HのX座標、Y座標として演算し、これから主歪ε1 、ε2 、主剪断歪γ1 、γ2 を演算する。
請求項(抜粋):
被測定物に4個の微小突起を付与する工程と、この4個の微小突起のX、Y座標を測定して求め、その内最も原点に近いものを基準点とする工程と、被測定物に所定の負荷を加え、変形後の4個の微小突起のX、Y座標を測定して求める工程と、変形後の4個の微小突起を平行移動することにより、変形後の基準点の位置を変形前の基準点の位置に一致させた場合の他の3個の微小突起のX、Y座標を演算する工程と、以下の式により歪量を演算する工程と、【数1】ここで、uは変形前後における基準点のX座標の差、vは変形前後における基準点のY座標の差、εx はx方向の歪成分、εy はy方向の歪成分、γxyはX、Y平面の剪断歪成分、ε1 、ε2 は主歪、γ1 、γ2 は主剪断歪、を含むことを特徴とする非接触式微小領域歪測定方法。

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