特許
J-GLOBAL ID：200903040929141960
ワークの取付治具及びワークの取付方法及びワークの切削方法及び装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-173130
公開番号（公開出願番号）：特開2000-012661
出願日： 1998年06月19日
公開日（公表日）： 2000年01月14日
要約：
【要約】【課題】ワークの大きさ、形状及び位置を検出することなくワークのスループットを向上させることができるワークの取付治具及びワークの取付方法及びワークの切削方法及び装置を提供する。【解決手段】本発明は、ウェーハ82をフレーム84に取付治具88を介して所定の位置に取り付け、取付治具88によるウェーハ82の取付位置を示す位置情報に基づいて、ウェーハ82を撮像した後、アライメントして切削する。ウェーハ82は、フレーム上において、取付治具88により定められた位置に取り付けられるため、この位置でウェーハ82を撮像し、そして、アライメントした後に切削する。
請求項（抜粋）：
ワークをフレーム上に位置決めして取り付けるワークの取付治具において、前記取付治具が前記フレームと略同一形状に形成されると共に、該取付治具にワークを挿入可能な位置決め用の開口部が形成され、フレームに取付治具を重ね合わせた後に、取付治具の位置決め用開口部にワークを挿入してワークをフレームに位置決めして取り付けることを特徴とするワークの取付治具。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 N
, H01L 21/78 N
5F031BB09
, 5F031GG04
, 5F031GG13
, 5F031GG19
, 5F031HH03
, 5F031KK20
