特許

J-GLOBAL ID：200903040945637975

高周波用低損失誘電体材料及びその製造方法

発明者： 高坂 祥二 ,  新原 晧一
出願人/特許権者： 京セラ株式会社 ,  新原 皓一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-331205
公開番号（公開出願番号）：特開平10-167809
出願日： 1996年12月11日
公開日（公表日）： 1998年06月23日
要約：

【要約】【課題】高周波領域において、低い誘電損失を有するとともに、高い強度を有する低損失誘電体材料とその製造方法を提供する。【解決手段】アルミナ粉末に、酸窒化ケイ素粉末、あるいは熱分解によってSi-N-O結合を有する無機質化合物に変化し得るポリシラザンなどの有機ケイ素化合物を酸窒化ケイ素換算で0.01〜10体積%の割合で混合し、該混合物を所定形状に成形した後、非酸化性雰囲気中、1300°C以上の温度で焼成して相対密度95%以上に緻密化し、アルミナを主体とし、Si-N-O結合を有する無機質結晶粒子を0.01〜10体積%の割合で分散含有する6GHzにおける誘電損失が1×10-4以下の高周波用低損失誘電体材料を得る。

請求項（抜粋）：

アルミナを主体とし、Si-N-O結合を有する無機質結晶粒子を0.01〜10体積%の割合で分散含有し、相対密度が98%以上、6GHzにおける誘電損失が1×10-4以下であることを特徴とする高周波用低損失誘電体材料。

IPC (2件)：

C04B 35/10 ,  H01B 3/12 337

FI (2件)：

C04B 35/10 E ,  H01B 3/12 337