特許

J-GLOBAL ID：200903040952894606

研磨装置

発明者： 屋鋪 博
出願人/特許権者： スピードファム株式会社
代理人 (1件)： 中林 幹雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-325660
公開番号（公開出願番号）：特開2001-138216
出願日： 1999年11月16日
公開日（公表日）： 2001年05月22日
要約：

【要約】【課題】 上定盤と下定盤との間に供給するスラリーの圧力を低く抑え、低圧加工を必要とする高精度の被研磨物の研磨加工を可能とする。【解決手段】 回転可能に設けられる下定盤2と、回転可能かつ上下動可能に設けられる上定盤12と、下定盤2の中心部に回転可能に設けられる太陽ギア7と、下定盤2の外周部に設けられるインターナルギア8と、太陽ギア7とインターナルギア8との間に噛合されるとともに、被研磨物11を保持可能なキャリヤ9とを具えた研磨装置1において、上定盤12の上面側にスラリー用溝15を環状に設けるとともに、スラリー用溝15の底部に上定盤12の下面側に貫通する供給孔16を設ける。スラリー25は、スラリー用溝15内で圧力が一旦低減された後に供給孔16を介して上定盤12と下定盤2との間に供給される。

請求項（抜粋）：

回転可能に設けられる下定盤と、下定盤の上方に回転可能かつ上下動可能に設けられる上定盤と、下定盤の中心部に回転可能に設けられる太陽ギアと、下定盤の外周部に設けられるインターナルギアと、太陽ギアとインターナルギアとの間に噛合されるとともに、被研磨物を保持可能なキャリヤとを具えた研磨装置において、前記上定盤に、内部にスラリーを充填可能なスラリー用溝と、該スラリー用溝と前記上定盤の下面との間を連通する供給孔とを設け、該供給孔を介して前記スラリー用溝内のスラリーを前記上定盤の下面側に導くように構成したことを特徴とする研磨装置。

Fターム (8件)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058AC04 ,  3C058CA02 ,  3C058CB01 ,  3C058CB02 ,  3C058DA06 ,  3C058DA09