特許
J-GLOBAL ID：200903040961103379
光分解装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮本 治彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-317506
公開番号（公開出願番号）：特開平8-153686
出願日： 1994年11月28日
公開日（公表日）： 1996年06月11日
要約：
【要約】【目的】光透過窓へ反応生成物が析出することにより生じる光透過窓の光透過率の低下を防止できる光分解装置を提供する。【構成】反応室1内に導入された反応ガスに光源6からの光を光透過窓5を通して照射することにより反応ガスの光反応を起こさせる光分解装置であり、光透過窓5に近接してニクロム線又はシーズヒータからなるヒータ8が設けられている。
請求項（抜粋）：
反応室内に導入された反応ガスに光源からの光を光透過窓を通して照射することにより前記反応ガスの光反応を起こさせる光分解装置において、前記光透過窓に近接して加熱手段を設けたことを特徴とする光分解装置。
IPC (3件)：
H01L 21/205
, C23F 4/04
, H01L 21/263
