特許
J-GLOBAL ID:200903040965056740
電子機器の電子管カソード電極
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
石田 長七 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-243918
公開番号(公開出願番号):特開平6-096660
出願日: 1992年09月14日
公開日(公表日): 1994年04月08日
要約:
【要約】【目的】 カソードの動作温度を低減するとともに、スイッチング制御を可能とする。【構成】 ガラス基板4の上面にヒーター層3を形成し、その上面に絶縁膜層2を介してゲート電極層1を形成し、ヒーター層3の上部に電極層1,絶縁膜層2を除去した小穴6を形成し、その小穴6内の底部にエミッタ物質を埋設してエミッタ層5を形成する。
請求項(抜粋):
基板の上面にヒーター層を形成し、その上面に絶縁膜層を介してゲート電極層を形成し、ヒーター層の上部のゲート電極層,絶縁膜層を除去して形成された小穴の内底部に、エミッタ層を形成することを特徴とする電子機器の電子管カソード電極。
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