特許

J-GLOBAL ID：200903040970176788

微結晶の大きさが小さな窒化ケイ素の製法

発明者： ウエルネル・クラウゼ
出願人/特許権者： ヘキスト・アクチェンゲゼルシャフト
代理人 (1件)： 江崎 光史 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-106701
公開番号（公開出願番号）：特開平6-056410
出願日： 1992年04月24日
公開日（公表日）： 1994年03月01日
要約：

【要約】【目的】 微結晶の大きさが小さな窒化ケイ素の製法【構成】 40乃至60nmの微結晶の大きさ及び21乃至40m2 /gのBETによる比表面積を有する窒化ケイ素を製造する方法において、非晶質の窒化ケイ素及び/又は非晶質の窒化ケイ素イミドをa)水蒸気含有ガス又はb)水含有溶剤と表面接触させそして表面接触させた非晶質の窒化ケイ素及び/又は窒化ケイ素イミドを窒素ふん囲気下少なくとも1°C/分の加熱速度で、1100°C以上であるα- 窒化ケイ素の結晶温度以上まで加熱することを特徴とする方法。

請求項（抜粋）：

40乃至60nmの微結晶の大きさ及び21乃至40m2 /gのBETによる比表面積を有する窒化ケイ素を製造する方法において、非晶質の窒化ケイ素及び/又は非晶質の窒化ケイ素イミドをa)水蒸気含有ガス又はb)水含有溶剤と表面接触させそして表面接触させた非晶質の窒化ケイ素及び/又は非晶質の窒化ケイ素イミドを窒素ふん囲気下少なくとも1°C/分の加熱速度で、1100°C以上であるα- 窒化ケイ素の結晶温度以上まで加熱することを特徴とする方法。