特許
J-GLOBAL ID：200903040971111922
イオン注入装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
飯阪 泰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-335438
公開番号（公開出願番号）：特開平6-162989
出願日： 1992年11月20日
公開日（公表日）： 1994年06月10日
要約：
【要約】[目的] 不純物除去装置においてイオンビームをイオン加速管の軸心に平行、且つ最大電流となるように調節可能なイオン注入装置を提供すること。[構成] 下流側偏向電極部14の中心軸上にファラデーカップ20が位置し得るようにモータ24、これによって駆動される駆動ロッド25を配設させる。ファラデーカップ20が受けるイオン電流を電流計28により測定する。この電流が最大となるように電極14aに印加する電圧を調整する。
請求項（抜粋）：
質量分析マグネットと、該質量分析マグネットから導出されるイオンビームを所定角度偏向させるための第1偏向電極と、前記所定角度と等しい角度で反対方向に前記イオンビームを偏向させるための第2偏向電極と、該第2偏向電極から導出される前記イオンビームのイオンを加速するための加速管とを備えたイオン注入装置において、前記第2偏向電極と前記加速管との間にイオンビーム測定器を設けたことを特徴とするイオン注入装置。
IPC (4件)：
H01J 37/317
, H01L 21/265
, H05H 7/04
, H05H 7/08
