特許
J-GLOBAL ID：200903040971682504
ウエハリング移載装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-150803
公開番号（公開出願番号）：特開平5-338730
出願日： 1992年06月10日
公開日（公表日）： 1993年12月21日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】ウエハリングを高精度に位置決めできるとともに、マガジンが周辺装置の保守性を悪化させることのないウエハリング移載装置を提供することにある。【構成】ウエハリング3を収納したマガジン40を昇降させるマガジン昇降装置37と、マガジン40から取出されたウエハリング3を保持するウエハリング保持装置38とを備えたウエハリング移載装置36において、マガジン昇降装置37がマガジン40を傾斜させながら保持するとともに、ウエハリング保持装置38に、ウエハリング載置テ-ブル45をマガジン40の傾斜に合わせて傾斜させる載置テ-ブル傾斜機構部を設け、ウエハリング3の移載の際に、ウエハリング載置テ-ブル45の姿勢をマガジン40の傾きに合せる。
請求項（抜粋）：
ウエハリングを収納したマガジンを昇降させるマガジン昇降装置と、上記マガジンから取出された上記ウエハリングを保持するウエハリング保持装置とを備えたウエハリング移載装置において、上記マガジン昇降装置が上記マガジンを傾斜させながら保持するとともに、上記ウエハリング保持装置に、上記ウエハリング載置テ-ブルを上記マガジンの傾斜に合わせて傾斜させる載置テ-ブル傾斜機構部を設け、上記ウエハリングの移載の際に、上記ウエハリング載置テ-ブルの姿勢を上記マガジンの傾きに合せることを特徴とするウエハリング移載装置。
IPC (3件)：
B65G 1/06
, B65G 49/07
, H01L 21/68
