特許

J-GLOBAL ID：200903040972694980

インクジェットヘッド

発明者： 大高 剛一 ,  佐藤 幸人 ,  入野田 貢
出願人/特許権者： 株式会社リコー
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-349984
公開番号（公開出願番号）：特開平11-165411
出願日： 1997年12月04日
公開日（公表日）： 1999年06月22日
要約：

【要約】【課題】 安定で均一なインクジェットヘッドを提供すると共に、その製造上の工程マージンを広げ、歩留まりの向上、コストの低減を図る。【解決手段】 単結晶Siからなる振動板15と、振動板15に対向して設けられた個別電極22を有し、振動板15に取り付けられた共通電極と個別電極間に駆動電圧を印加し、振動板15を静電力により変形させ、ノズル14からインク液滴を吐出する。振動板15はその表面が単結晶Siの(100)面により形成され、その長辺方向が単結晶Siの結晶方位の(110)方向に沿って形成され、長辺方向に沿って伸びているヒンジ機能をもつ凸部19がSiの(111)面により形成されている。単結晶Si(100)面で形成された振動板にヒンジ機能を有する凸部がSiの(111)面で形成されているため、ヒンジ機能がばらつかず、アレー上に多数のインクジェットヘッドを構成しても特性の均一なヘッドを形成できる。

請求項（抜粋）：

ノズルと、該ノズルに連通するインク流路と、該インク流路の一部に設けられた単結晶Siからなる振動板と、該振動板に対向して設けられた個別電極と、前記振動板に取り付けられた共通電極を有し、前記個別電極と共通電極との間に駆動電圧を印加して前記振動板を静電力により変形させ、前記ノズルからインク液滴を吐出するインクジェットヘッドにおいて、前記振動板はその表面が単結晶Siの(100)面により形成され、該振動板の長辺方向が単結晶Siの結晶方位の(110)方向に沿って形成され、該振動板の中にその長辺方向に沿って伸びているヒンジ機能をもつ凸部を有し、該ヒンジ機能を持つ凸部が前記単結晶Siの(111)面により形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。

IPC (3件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H