特許

J-GLOBAL ID：200903040973365166

軸流真空ポンプ

発明者： 荒見 淳一 ,  加藤 英一
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社 ,  樫山工業株式会社
代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-196738
公開番号（公開出願番号）：特開2005-030309
出願日： 2003年07月14日
公開日（公表日）： 2005年02月03日
要約：

【課題】反応性のガスを真空排気した場合に安定して稼動する真空ポンプを提供する【解決手段】略円筒形状のケーシング101と、前記ケーシング内に略同心円状に配置された略円柱上のロータ102とを有する軸流真空ポンプにおいて、副生成物を捕集するトラップ室118をポンプ内部に構成したことにより、反応性ガスを排気する場合の副生成物を前記トラップ室において捕集してポンプを安定稼動させる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

ケーシングと、 前記ケーシング内に略同心円状に配置されたロータを有して排気される排出気体を圧縮する圧縮部と、 前記圧縮部より排出される排出気体を排出する排出部と、 前記排出部に設けられた副生成物を捕集するトラップ室と、 前記トラップ室に着脱可能に設けられたメンテナンス蓋とを有することを特徴とする軸流真空ポンプ。

IPC (1件)：

F04D19/04

FI (1件)：

F04D19/04 H

Fターム (5件)：

3H031DA07 ,  3H031EA04 ,  3H031FA02 ,  3H031FA31 ,  3H031FA36