特許
J-GLOBAL ID：200903040976174310
液体材料供給装置及び材料供給方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
黒田 博道 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-222330
公開番号（公開出願番号）：特開平10-057798
出願日： 1996年08月23日
公開日（公表日）： 1998年03月03日
要約：
【要約】【課題】 液体材料を中断させること無く安定的に供給し、気化器でのガスの生成量に変動を与えないようにする。【解決手段】 先端が2つに分岐されたガス供給管111と、2つの端部を合わせて1つの気化器91に接続する材料供給管127と、ガス供給管111とガス導入管151,251とを接続するガスライン接続管113,213と、材料供給管と吐出管153,253とを接続する材料ライン接続管123,223と、ガス供給管と材料ライン接続管とを接続するバイパス管129,229と、を有し、ガスライン接続管はガス供給管の開閉バルブ141,241に接続されて他端に継ぎ手115,215を有し、材料ライン接続管は材料供給管の開閉バルブ147,247に接続されて他端に継ぎ手125,225を有し、バイパス管は開閉バルブ143,243を備え、容器150,250は開閉バルブ161,16,261,263を備えたガス導入管及び吐出管を有し、液体材料を封入した2個の容器を各継ぎ手により着脱可能とする液体材料供給装置。
請求項（抜粋）：
先端が2つに分岐され、この2つの端部に各々開閉バルブを有するガス供給管と、分岐された2つの端部に各々開閉バルブを有し、この2個の開閉バルブからのラインを合わせて1つの気化器に液体材料を供給する材料供給管と、前記ガス供給管の端部と容器のガス導入管とを接続するための2本のガスライン接続管と、前記材料供給管の端部と容器の吐出管とを接続するための2本の材料ライン接続管と、前記ガス供給管と前記材料ライン接続管とを接続する2本のバイパス管と、を有し、前記各ガスライン接続管は前記ガス供給管の端部に設けた前記開閉バルブに一端が接続され他端は容器のガス導入管を接続するための継ぎ手を有し、各材料ライン接続管は一端が前記材料供給管の端部に設けた前記開閉バルブに接続され他端に前記容器の吐出管に接続するための継ぎ手を有し、一端が前記ガス供給管に接続され他端が材料ライン接続管に接続される前記各バイパス管は各々中間に開閉バルブを備え、前記容器は開閉バルブを備えた前記ガス導入管及び開閉バルブを備えた前記吐出管を有し、液体材料を封入したこの容器の2個を各々前記各継ぎ手により着脱可能とし、前記ガス供給管からの加圧ガスを前記各容器に送りつつ前記各容器の液体材料を前記材料供給管を介して前記気化器に供給することを特徴とする液体材料供給装置。
IPC (3件)：
B01J 4/00 103
, C03B 8/04
, C03B 37/018
B01J 4/00 103
, C03B 8/04
, C03B 37/018 Z
