特許
J-GLOBAL ID：200903040978297878
着色レジスト焼成用オーブン
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-070763
公開番号（公開出願番号）：特開平11-264665
出願日： 1998年03月19日
公開日（公表日）： 1999年09月28日
要約：
【要約】【課題】有機カラーフィルターの焼成工程において、焼成用オーブン内で発生する昇華ガスの固化付着のない着色レジスト焼成用オーブンの提供にある。【解決手段】基板10上に、パターン化された着色レジスト膜14を有する基板材料12を搬入する搬入開口部30と焼成された基板材料12を搬出する搬出開口部40とを有する着色レジスト焼成用オーブン1において、該搬入開口部30および搬出開口部40もしくはいずれか一方の近傍に加熱用ヒーター50を具備し、具体的には前記加熱用ヒーター50を、各開口部30,40を開閉するシャッター60自体におよび昇華ガス14aの排気口38の周囲に備えてなる着色レジスト焼成用オーブン1としたものである。
請求項（抜粋）：
基板上に、パターン化された着色レジスト膜を有する基板材料を搬入する搬入開口部と焼成された基板材料を搬出する搬出開口部とを有する着色レジスト焼成用オーブンにおいて、該搬入開口部および搬出開口部もしくはいずれか一方の近傍に加熱用ヒーターを具備してなることを特徴とする着色レジスト焼成用オーブン。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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