特許

J-GLOBAL ID：200903040985467193

超微細加工方法

発明者： 北原 邦紀
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-239874
公開番号（公開出願番号）：特開平6-089886
出願日： 1992年09月09日
公開日（公表日）： 1994年03月29日
要約：

【要約】【目的】 STM 加工方法に関し,試料温度のドリフトに対する位置ずれの補正を可能にすることを目的とする。【構成】 1)被加工面に探針を対向させ, 該探針を走査させながら該探針の先端から放射または吸収される電子流あるいは電界により, 該被加工面上の複数位置に穴または突起を形成してマーカとし, 該マーカの位置を複数の走査速度で測定し,得られた位置ずれのデータから該針の先端と該被加工面との相対的な位置のドリフト量を求め, 該ドリフト量を描画データに取り込んで探針の走査速度,印加電圧, 電流を制御して描画を行う,2)既知の表面構造を有する被加工面において, 前記マーカの代わりに該被加工面の形状を用いるように構成する。

請求項（抜粋）：

被加工面の任意の複数位置においてマーカを設定する第1の工程と,該マーカの位置を複数の走査速度で複数回測定し,特定の該マーカの複数回の測定における位置ずれのデータから探針の先端と該被加工面との相対的な位置のドリフト量を求める第2の工程と,該ドリフト量に基づいて該探針を制御し,描画を行う第3の工程とを有することを特徴とする超微細加工方法。