特許
J-GLOBAL ID：200903040986870137
導電性薄膜被覆装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-123372
公開番号（公開出願番号）：特開平10-298746
出願日： 1997年04月25日
公開日（公表日）： 1998年11月10日
要約：
【要約】【課題】 粒子状の試料においても充分な導電性を確保し、電子顕微鏡における観察に障害となる帯電現象の発生を防ぎ、取扱いが容易で、安価な導電性薄膜被覆装置を提供する。【解決手段】 蒸着源またはスパッタターゲット5により粒子状試料1に導電性薄膜の被覆を行なう装置において、粒子状試料1を載せる試料容器2及び試料保持部3よりなる試料保持手段と、試料保持手段に接続して配される超音波振動素子4とを備え、導電性薄膜の被覆形成に際し、超音波振動素子4を作動させて、試料保持手段を振動させることにより、粒子状試料1を転動させ、該試料1の表面全域に導電性薄膜の被覆が行なわれるようにする。また粒子状試料を保持する面を傾斜させたり、また傾斜させた面を回転させるか傾斜角度と方向を時間的に変化させる等の手段を付与することにより、より効果的な粒子状試料の転動がなされる(図示せず)。
請求項（抜粋）：
蒸着及びスパッタリングを含む薄膜形成法を用いて粒子状試料に導電性薄膜の被覆形成を行う導電性薄膜被覆装置において、前記粒子状試料を支持面で支持し、かつ、該支持面上で該粒子状試料を自由に転動可能とする試料支持手段と、該試料支持手段に接続して配される超音波振動素子とを備え、前記導電性薄膜の被覆形成に際し、該超音波振動素子を作動させて前記試料支持手段を振動させることにより、前記粒子状試料を転動させ、該粒子状試料の表面全域に前記導電性薄膜の被覆形成を行なうようにしたことを特徴とする導電性薄膜被覆装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C 14/34 J
, C23C 14/50 K
