特許
J-GLOBAL ID：200903040987525883
基板搬送装置と基板処理システム及び基板搬送方法と半導体装置の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-039375
公開番号（公開出願番号）：特開平9-097825
出願日： 1996年02月27日
公開日（公表日）： 1997年04月08日
要約：
【要約】【目的】 半導体装置用基板に付着し易いパーティクルの除去手段に係り、パーティクルの確実な除去で生産性向上を図ることを目的とする。【構成】 基板搬送装置5の基板搬送路51を、台車用のガイド溝511aを備えたガイド台511 とそれをトンネル状に覆うカバー122 とで構成し、該カバー122 の天井壁内側近傍に該天井壁と平行して設けたフィルタ層123 から吹き出させる清浄気を上記ガイド台側壁のカバー122 との接続域に形成した複数の孔121aから排出せしめる上記基板搬送路51が、対面するカバー側壁内面の該各側壁と平行する近傍位置には直流の高圧電源に繋がるパーティクル吸着用の電極板512 が配設され、ガイド台511 の上記ガイド溝両外側近傍の該ガイド溝に沿う領域にはフィルタ層513 を通る圧力可変の清浄気を該カバー内部に吹き出させるスリット状孔511bを設けて構成する。
請求項（抜粋）：
基板を載置固定して移動し得る台車と該台車を導く基板搬送路とからなる基板搬送装置であって、台車用のガイド溝を備えたガイド台と該ガイド台をトンネル状に覆うカバーとからなる上記基板搬送路が、該カバーの天井壁近傍に設けた第1のフィルタ層から吹き出させる清浄気を上記ガイド台側壁のカバーとの接続域に形成した孔から排出せしめるように形成されていると共に、対面するカバー側壁近傍に、パーティクル吸着用の電極板が配設され、ガイド台の上記ガイド溝両外側近傍には第2のフィルタ層を通る清浄気を該カバー内部に吹き出させる孔が形成されていることを特徴とする基板搬送装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B03C 3/00
, F24F 7/06
H01L 21/68 A
, B03C 3/00 Z
, F24F 7/06 C
