特許

J-GLOBAL ID：200903040993507994

薬液組成モニタ方法およびその装置

発明者： 長谷 潮
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-278827
公開番号（公開出願番号）：特開平8-136450
出願日： 1994年11月14日
公開日（公表日）： 1996年05月31日
要約：

【要約】【目的】 過酸化水素、アンモニア、水とからなる薬液用の、安価でかつ再現性のよい組成モニタが可能な装置を提供する。【構成】 バルブ2、12を破線状態にし、純水の連続流に、薬液と硫酸を導入して混合希釈し、紫外吸収測定部26で吸光度を測定する。この吸光度は薬液中の過酸化水素濃度のみに依存する(信号A)。次にバルブ2を切替え、ループ6内を再び薬液で、ループ16内は純水で満たした後、バルブ2を破線状態にして、ループ6の薬液を純水で希釈混合し、紫外吸収測定部26で吸光度(信号B)を測定する。信号Aより過酸化水素を定量し、得られた過酸化水素の定量値と信号Bからアンモニアの定量値を求める。

請求項（抜粋）：

過酸化水素、アンモニア、水とからなる薬液の過酸化水素とアンモニアの組成モニタ方法において、前記薬液を純水で希釈し紫外吸収測定部にて吸光度を測定する工程と、前記薬液を酸溶液または酸溶液と純水で希釈し前記紫外吸収測定部にて吸光度を測定する工程とを、純水で洗浄する工程を挟みながら流路切替バルブを切り替えることにより交互に繰り返し、酸溶液で希釈された薬液の前記吸光度より前記薬液中の過酸化水素を定量し、得られた前記過酸化水素定量値と、純水で希釈された薬液の前記吸光度より前記薬液中のアンモニアを定量することを特徴とする薬液組成モニタ方法。

IPC (2件)：

G01N 21/33 ,  H01L 21/304 341

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭61-281532
  
• 特開昭53-121696