特許

J-GLOBAL ID：200903041000747401

基板搬送装置

発明者： 岡 義二 ,  板羽 昌行 ,  福冨 義光 ,  弓削 俊哉
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 五十嵐 孝雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-328377
公開番号（公開出願番号）：特開平9-148404
出願日： 1995年11月22日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：

【要約】【課題】 搬送アームと基板との干渉の可能性を低減する。【解決手段】 基板搬送装置は、カセット内に収納されている基板同士の垂直方向のクリアランスを検出するクリアランス測定手段と、クリアランスが所定の臨界値未満の場合には、搬送アームを斜めの軌跡に沿って上昇させつつ基板の間に挿入するアーム駆動手段と、を備える。

請求項（抜粋）：

搬送アームを用いてカセット内に収納された基板を搬送する装置であって、前記カセット内に収納されている基板同士の垂直方向のクリアランスを検出するクリアランス測定手段と、前記クリアランスが所定の臨界値未満の場合には、前記搬送アームを斜めの軌跡に沿って上昇させつつ基板の間に挿入するアーム駆動手段と、を備える基板搬送装置。

IPC (5件)：

H01L 21/68 ,  B25J 13/08 ,  B65G 1/00 535 ,  B65G 49/07 ,  G01B 21/00

FI (6件)：

H01L 21/68 A ,  H01L 21/68 F ,  B25J 13/08 A ,  B65G 1/00 535 ,  B65G 49/07 D ,  G01B 21/00 H

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭63-020504
  
• 特開昭5-324060
  
• 特開昭5-217082