特許

J-GLOBAL ID：200903041014605480

電子ビーム加熱装置および材料加熱方法

発明者： 伊藤 和典 ,  熊野 勝文
出願人/特許権者： 株式会社リコー ,  リコー応用電子研究所株式会社
代理人 (1件)： 植本 雅治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-028961
公開番号（公開出願番号）：特開平5-195049
出願日： 1992年01月20日
公開日（公表日）： 1993年08月03日
要約：

【要約】【目的】 電子ビームにより材料のアニールを行なう際、アニールを良好にかつ安定して行なうことができるよう材料を加熱することが可能である。【構成】 グロー放電により得られる電子ビームで材料9を加熱する加熱部1に直流電源4より電力を供給するが、この際に、制御回路5によって直流電源4からの電子ビーム発生用の電流を制御して加熱部1における放電を制御し、これにより、グロ-放電からア-ク放電への移行を防止する。

請求項（抜粋）：

グロー放電により得られる電子ビームで材料を加熱する処理がなされる加熱部と、電子ビームを加熱部において発生させるための電力を供給する電源手段と、前記電源手段からの電子ビーム発生用の電流を制御して加熱部における放電を制御する制御手段とを備えていることを特徴とする電子ビーム加熱装置。

IPC (2件)：

C21D 1/38 ,  H01L 21/263

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭59-023442
  
• 特開平2-303687
  
• 特開昭59-040449
  
• 特開昭62-115637