特許

J-GLOBAL ID：200903041015881678

反射防止膜および該反射防止膜を備えた光学系、ならびに該光学系を用いた露光装置やデバイス製造方法

発明者： 枇榔 竜二 ,  安藤 謙二 ,  鈴木 康之
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-277831
公開番号（公開出願番号）：特開平7-261002
出願日： 1994年11月11日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：

【要約】【目的】 吸収の小さく且つ優れた反射防止特性を有する反射防止膜を提供すること。【構成】 Ta2O5 を含む高屈折率層と、SiO2 を含む低屈折率層を有することを特徴とする反射防止膜である。ここで、波長365nmの光に対する前記低屈折率層と前記高屈折率層の屈折率を各々NL 、NH とするとき、1.42≦NL ≦1.502.10≦NH ≦2.40を満たす。

請求項（抜粋）：

Ta2O5 を含む高屈折率層と、SiO2 を含む低屈折率層を有することを特徴とする反射防止膜。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭60-225101
  
• 特開平2-096701
  
• 特開平2-291502