特許
J-GLOBAL ID：200903041017211696
塗布装置および塗布方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
鈴江 武彦
, 河野 哲
, 中村 誠
, 蔵田 昌俊
, 村松 貞男
, 橋本 良郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-201780
公開番号（公開出願番号）：特開2005-040690
出願日： 2003年07月25日
公開日（公表日）： 2005年02月17日
要約：
【課題】複数のノズルから溶液を均一に吐出できる塗布装置および塗布方法を提供すること。【解決手段】基板Wの表面に溶液を噴射塗布する塗布装置において、上記基板Wを搬送する搬送テーブルと、この搬送テーブルの上側に設けられ、ノズルを備えたヘッド9と、このヘッド9内に設けられ、駆動信号の印加により上記ノズルから溶液を液滴状に吐出させる圧電振動子と、上記ノズルから吐出した液滴Lの体積を検出する高速度カメラ61および画像処理装置66と、この高速度カメラ61および画像処理装置66により得られた液滴Lの体積に基づき、上記駆動信号を制御して上記ノズルから吐出する溶液の吐出量を調整する駆動制御装置67とを具備する。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
基板の表面に溶液を噴射塗布する塗布装置において、
上記基板を搬送する搬送テーブルと、
この搬送テーブルの上側に設けられ、ノズルを備えたヘッドと、
このヘッド内に設けられ、駆動信号の印加により上記ノズルから溶液を液滴状に吐出させる圧電振動子と、
上記ノズルから吐出した液滴の情報を検出する検出手段と、
この検出手段により得られた液滴の情報に基づき、上記駆動信号を制御して上記ノズルから吐出する溶液の吐出量を調整する制御手段と、
を具備することを特徴とする塗布装置。
IPC (4件)：
B05C11/10
, B05C5/00
, B05D1/26
, B41J2/01
B05C11/10
, B05C5/00 101
, B05D1/26 Z
, B41J3/04 101Z
2C056EA04
, 2C056EB29
, 2C056EC28
, 2C056EC41
, 2C056FB01
, 4D075AC06
, 4D075AC09
, 4D075AC88
, 4D075AC93
, 4D075AC94
, 4D075CA47
, 4D075DA06
, 4D075DB13
, 4D075DC19
, 4D075DC21
, 4D075DC24
, 4D075EA07
, 4F041AA02
, 4F041AB01
, 4F041BA10
, 4F041BA34
, 4F042AA02
, 4F042AA06
, 4F042BA11
, 4F042CB07
, 4F042DF15
, 4F042ED03
