特許
J-GLOBAL ID:200903041019744373
光学素子
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-180820
公開番号(公開出願番号):特開平11-014814
出願日: 1997年06月19日
公開日(公表日): 1999年01月22日
要約:
【要約】【課題】 本発明は、大面積の可視光用偏光子を容易に作製することが可能であること、可視光の光透過率が高いこと、可視光域で機能する表示デバイスに用いることが可能なように着色されていないことを全て満足する光学素子を提供することを目的とする。【解決手段】 可視光に対して透明な石英基板10表面に、直線状に延びる溝が複数列形成され、各溝内の両側面は石英基板10裏面に対して垂直面をなしている。このように凹凸形状をなす石英基板10表面上には同じ屈折率のSiO2 膜20が嵌合して設けられている。これら石英基板10とSiO2 膜20との勘合面全体にわたってGe薄膜18が直線格子状に設けられている。即ち、この直線格子状のGe薄膜18は、両側面が垂直な凹部と凸部とが交互に繰り返される凹凸形状の断面をなすと共に、図面の奥行き方向に直線状に延びている。
請求項(抜粋):
可視光に対して透明な支持体の表面に、所定の深さの溝を等間隔をおいて直線状に複数列形成する第1の工程と、前記溝内の底面及び両側面並びに前記溝間の前記支持体の表面に、所定の厚さの薄膜を形成する第2の工程と、基体全面に、前記支持体と同じ屈折率の支持層を形成した後、前記支持層の表面を平坦化して、前記支持体の裏面に対して平行にする第3の工程とを有する方法により製造される光学素子。
IPC (2件):
FI (2件):
引用特許:
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