特許
J-GLOBAL ID：200903041030859620
複数パネルの位置合わせ方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石原 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-291820
公開番号（公開出願番号）：特開平7-141988
出願日： 1993年11月22日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：
【要約】【目的】 複数段に配列された複数の不透光性パネル(板状電極など)の位置合わせが、高精度で効率よく行えるようにする。【構成】 複数の不透光性パネル8、9...の各板面にパネルごとに所定ピッチ幅でシフトしたスポット状の標識8a、9a...を設ける。また、このパネルのうちの少なくとも一つに、その他のパネルの標識に対する覗き穴9b、10b...を設ける。複数のパネル8、9...を板面同士が互いに平行となるように複数段に配列し、その上方または下方に対物レンズ13を配設する。各標識8a、9a...の中心軸上に移動させた対物レンズ13および必要な覗き穴を透して各パネルの標識を光学的に検出して、複数のパネルの相対的な位置合わせを行う。
請求項（抜粋）：
複数の不透光性パネルの各板面にパネルごとに所定ピッチ幅でシフトしたスポット状の標識を設けるとともに、このパネルのうちの少なくとも一つにその他のパネルの標識に対する覗き穴を設ける段階と、複数のパネルを板面同士が互いに平行となるように複数段に配列する段階と、複数段に配列されたパネルの上方または下方に、前記配列の方向に光軸を沿わせた対物レンズを配設する段階と、各標識の中心軸上に移動させた対物レンズおよび必要な覗き穴を透して各パネルの標識を光学的に検出し、複数のパネルの相対的な位置合わせを行う段階とを備えることを特徴とする複数パネルの位置合わせ方法。
IPC (2件)：
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