特許
J-GLOBAL ID：200903041035042338
光波干渉測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
吉田 研二
, 石田 純
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-232117
公開番号（公開出願番号）：特開2006-047241
出願日： 2004年08月09日
公開日（公表日）： 2006年02月16日
要約：
【課題】光学楔を移動させて干渉縞を移動させ、干渉縞の濃淡の波形に基づき測定を行う光学干渉測定装置において、光学楔の位置精度を高め、測定時間の短縮を図る。【解決手段】主光路32内で楔角rの光学楔50を一定速度Sで移動させ、干渉縞をフレームレートfのCCDカメラ46で撮影し、干渉縞の濃淡情報を取得する。撮影の間隔を干渉縞の濃淡の周期の4分の1以下とすれば、濃淡波形の歪みを抑えることが可能である。このときの光学楔の移動速度Sは、測定に用いる光の波長をλとすれば、次式となる。 S≦λf/(4 tan-1r)光学楔を停止させることがなく停止位置の誤差が排除され、位置精度を高めることができる。また、停止時の振動が納まるのを待つ必要がなく、測定時間の短縮が図れる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
光源からの波長(λ)の光を分割し、その一方をベースプレートおよびこれの上に載置した被測定物の表面にて反射させ、分割された他方の光と干渉させて、ベースプレート表面の干渉縞と被測定物表面の干渉縞との位相ずれに基づき被測定物の寸法測定を行う光波干渉測定装置であって、
分割された光の光路の一方に挿入され、厚さに応じて通過する光の位相を変化させる光学楔であって、当該光学楔の表裏の面の一方は、他方に対し一定角度(r)で傾いている光学楔と、
前記光学楔を光路に直交する方向に一定の移動速度(S)で移動させ、その光路における光学楔の厚さを変える光学楔移動手段と、
1秒当たりf回の等時間間隔で干渉縞を撮影する撮影手段と、
を有し、
前記移動速度(S)は、
S≦λf/(4 tan-1r)
である、光波干渉測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (13件)：
2F064CC10
, 2F064DD10
, 2F064EE02
, 2F064FF01
, 2F064GG12
, 2F064GG13
, 2F064GG22
, 2F064GG37
, 2F064GG40
, 2F064GG52
, 2F064HH01
, 2F064HH05
, 2F064HH07
