特許

J-GLOBAL ID：200903041041232599

ウエハの鏡面加工装置

発明者： 前 田 誠 一 ,  長 橋 勲
出願人/特許権者： スピードファム株式会社
代理人 (1件)： 林 宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-044897
公開番号（公開出願番号）：特開平7-314304
出願日： 1987年09月14日
公開日（公表日）： 1995年12月05日
要約：

【要約】【目的】 ウエハの面取部を容易に鏡面加工することのできる簡単な構成の鏡面加工装置を得る。【構成】 面取り加工されたウエハ1 を保持して軸線の回りに回転させるチャックテーブル17と、軸線の回りに回転自在且つ軸線方向に移動自在に配設された研磨ドラム32と、該研磨ドラム32を直線的に移動させてチャックテーブル17に保持されたウエハ1 の面取部に接離させるスライド手段と、該スライド手段を付勢して上記研磨ドラム32とウエハ1 との間に所要の当接力を発生させるウエイト38とを設ける。

請求項（抜粋）：

外周部を面取り加工された円板形のウエハを保持して該ウエハの軸線の回りに回転させるチャックテーブル、円筒状をなすドラム部材の外周面に研磨布を貼着することにより構成され、自身の軸線の回りに回転自在且つ軸線方向に移動自在に配設された研磨ドラム、上記研磨ドラムとチャックテーブルに保持されたウエハの面取部とを接離させるための直線的に移動するスライド手段、上記スライド手段に吊設され、上記研磨ドラムとウエハとの間に所要の当接力を発生させるウエイト、を備えてなることを特徴とするウエハの鏡面加工装置。