特許

J-GLOBAL ID：200903041044462005

多層の薄膜積層における膜厚の測定方法およびその装置

発明者： ポール・ジェイ・クラピス ,  ケイス・イー・ダニエル
出願人/特許権者： ヒューズ・エアクラフト・カンパニー
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-305092
公開番号（公開出願番号）：特開平7-260437
出願日： 1994年12月08日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、1つの層が実質的に均一の厚みを有する2つの層の厚みを測定するシステムおよび方法を提供することを目的とする。【構成】 第1層40の厚み範囲に対する波長関数として反射率理論識別特性の基準ライブラリを生成する第1手段、各測定点の波長関数として反射率測定値を表す複数の識別特性を生成のために第1層40表面上の複数点で第1層40に対する波長関数として反射率を測定する第2手段、各測定識別特性に対して最適相関を識別するために各理論識別特性と各測定識別特性を比較する第3手段、理論識別特性の一つと各識別特性の各最適相関に関係した誤差値を計算する第4手段、第2層42の実際の厚みと仮定厚み間の相関品質尺度を生成するために理論識別特性の一つと各識別特性の各最適相関に関係した誤差を解析する第5手段で構成され、一層42が実質的に均一厚である材料中の第1層40と第2層42の厚みを測定する。

請求項（抜粋）：

一つの層が実質的に均一の厚みを有している材料中の第1および第2層の厚みを測定するシステムにおいて、前記第2層の第1の仮定された厚みに基づいて、前記第1層の厚みの範囲に対する波長の関数として反射率の理論識別特性の第1の基準ライブラリを生成する第1の手段と、測定された各点における波長の関数として反射率の測定された値を表わす複数の識別特性を生成するために、前記第1層の表面上の複数の点において前記第1層に対する波長の関数として反射率を測定する第2の手段と、各測定された識別特性に対して関連した最適相関を識別するために、前記第1の基準ライブラリ中の前記理論識別特性のそれぞれと前記測定された識別特性のそれぞれとを比較する第3の手段と、前記基準ライブラリ中の前記理論識別特性の一つと各識別特性との各最適相関に関係した誤差値を計算する第4の手段と、前記第2層の実際の厚みと前記第2層の第1の仮定された厚みとの間の相関品質の第1の尺度を生成するために、前記基準ライブラリ中の前記理論識別特性の一つと各識別特性との各最適相関に関係した誤差値を解析する第5の手段とを具備する厚みを測定するシステム。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭63-032307
  
• 特開平2-179402
  
• 特開平4-172208
  
• 特開平2-251711