特許
J-GLOBAL ID：200903041047139418
駆動装置およびそれを用いた基板処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-060976
公開番号（公開出願番号）：特開平10-257668
出願日： 1997年03月14日
公開日（公表日）： 1998年09月25日
要約：
【要約】【課題】 搬送物等が破損するといった問題を迅速に回避できる駆動装置およびそれを用いた基板処理装置を提供する。【解決手段】 制御部16から供給される制御信号に基づきサーボモータ14を動作させるモータドライバ15、が指令回路151による指令信号に基づいた設定トルクτ0(t)と実トルクτ1との差分トルクΔτ、指令信号に基づいた指令パルス数PAと出力パルス数PMとの差分パルスΔP、指令信号に基づいた指令角速度ωAと出力角速度ωMとの差分角速度Δωのそれぞれの絶対値がそれぞれ所定のトルク閾値、パルス偏差閾値、角速度閾値より大きい場合に異常時処理回路158の制御により異常時処理が行われる。そのため、モータドライバ15の監視により異常時処理の指令を行うものであるため迅速な異常時処理が行え、それにより安全性を向上させることができる。
請求項（抜粋）：
モータの回転により駆動力を得る駆動装置であって、(a) 上位の制御装置から入力された信号に応答して回転指令信号を生成し、前記回転指令信号に応じた動作信号を前記モータへと出力する制御手段と、(b) 前記モータの出力トルクを検出するトルク検出手段と、(c) 前記回転指令信号に対応したトルク値と前記出力トルクとの偏差が所定の許容範囲内にあるかどうかを監視する監視手段と、(d) 前記偏差が前記許容偏囲を逸脱したときに異常検出信号を生成する異常検出信号生成手段と、を備え、前記制御手段と、前記トルク検出手段と、前記監視手段と前記異常信号生成手段とは、前記モータに付随したモータドライバ中に組み入れられていることを特徴とする駆動装置。
IPC (3件)：
H02H 7/085
, H02P 7/00
, H01L 21/68
H02H 7/085 G
, H02P 7/00 U
, H01L 21/68 A
