特許
J-GLOBAL ID：200903041047531555
異物検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田辺 恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-282563
公開番号（公開出願番号）：特開平9-101267
出願日： 1995年10月03日
公開日（公表日）： 1997年04月15日
要約：
【要約】【課題】被検査物における異物の付着面を精度良く判別することができなかつた。【解決手段】絞り位置変更手段(13、22、32)によつて絞り手段(11、21、31、51)の焦点面からの距離を変えながら異物に検査光(L)を照射することにより得られる異物の散乱光を対物光学系(6)で集光し、該集光された光を絞り手段(11、21、31、51)を通じて受光手段(12)で受光し、該受光した光の光量に応じた信号を得る。これにより、異物の付着面に応じた信号を得ることができ、かくして異物の付着面を高精度に判別し得る異物検査装置(1、20、30、40)を実現することができる。
請求項（抜粋）：
光透過性を有する被検査物に付着した異物を検査する異物検査装置において、前記異物に検査光を照射する光照射手段と、前記被検査物のいずれか一方の面に焦点面を形成するような位置に配置され、前記異物に前記検査光を照射した際に前記異物から生ずる散乱光を集光する対物光学系と、該対物光学系で集光された光の光量を絞る開口部を有する絞り手段と、該絞り手段から導かれた光を受光し、該受光した光の光量に応じた信号を出力する受光手段とによつて構成される共焦点検出系と、前記検査光を前記異物に照射した際、前記対物光学系の光軸上における前記絞り手段の前記焦点面からの距離を変える絞り位置変更手段と、前記受光手段の出力に基づいて前記異物が付着した前記被検査物の面を判別する異物付着面判別手段とを具えることを特徴とする異物検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/88 E
, H01L 21/66 J
