特許

J-GLOBAL ID：200903041047925120

マルチノズル板およびその製造法

発明者： 宮口 耀一郎 ,  稲田 俊生 ,  中島 左千子 ,  牧野 智子
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 友松 英爾 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-047313
公開番号（公開出願番号）：特開平6-238903
出願日： 1993年02月12日
公開日（公表日）： 1994年08月30日
要約：

【要約】【目的】 本発明の目的は、ドライエッチング法を用いて安価で量産性の高いマルチノズル板、特にインクジェットヘッド用ノズル板を提供することにある。【構成】 マルチノズルを形成する基板にレジストを塗布し、露光、現像して前記基板上に形成すべきノズルのパターンを形成し、次にドライエッチングを行ってノズルを形成することを特徴とするマルチノズル板の製造法及び該製造法で得られたマルチノズル板。

請求項（抜粋）：

マルチノズルを形成する基板にレジストを塗布し、露光、現像して前記基板上に形成すべきノズルのパターンを形成し、次にドライエッチングを行ってノズルを形成することを特徴とするマルチノズル板の製造法。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-266947
  
• 特開昭57-072866
  
• 特開平2-265754