微細形状部品及びその製造法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松井茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-224667
公開番号（公開出願番号）：特開2003-033919
出願日： 2001年07月25日
公開日（公表日）： 2003年02月04日
要約：

【要約】【課題】回折格子、偏光器などの光学部品の成形に用いるスタンパ又は該スタンパを形成するための原版等として利用することができる微細な凹凸パターンを有する微細形状部品及びその製造方法を提供する。【解決手段】支持基板11上にエッチング又はメッキのしやすさの異なる複数種類の薄膜32を交互にメッキして、薄膜の積層体31を形成し、この積層体を薄膜に対して交差する方向に切断して、好ましくは短冊状の切断片33とし、この切断片33を並び変えて薄膜の端縁が層状に露出した積層面を形成する。この積層面をエッチング又はメッキして微細な凹凸面を形成することにより、上記スタンパ又は該スタンパを形成するための原版等として利用することができる微細形状部品を得る。

請求項（抜粋）：

エッチング又はメッキのしやすさの異なる複数種類の薄膜が交互に積層されて構成され、この薄膜の端縁が層状をなして露出した積層面を有し、この積層面がエッチング又はメッキされて微細な凹凸に形成されていることを特徴とする微細形状部品。

IPC (5件)：

B29C 33/38 , B29C 59/02 , G02B 5/18 , G02B 5/30 , B29L 11:00

FI (5件)：

B29C 33/38 , B29C 59/02 B , G02B 5/18 , G02B 5/30 , B29L 11:00

Fターム (19件)：

2H049AA03 , 2H049AA07 , 2H049AA13 , 2H049AA37 , 2H049AA40 , 2H049AA46 , 2H049BA02 , 2H049BA45 , 2H049BC01 , 4F202AF01 , 4F202AH73 , 4F202CA11 , 4F202CB01 , 4F202CD03 , 4F202CD16 , 4F202CD24 , 4F209PA02 , 4F209PB01 , 4F209PC05

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