特許

J-GLOBAL ID：200903041053832222

露光装置

発明者： 中村 綾子 ,  中川 正弘
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 井上 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-107754
公開番号（公開出願番号）：特開2000-299276
出願日： 1999年04月15日
公開日（公表日）： 2000年10月24日
要約：

【要約】【課題】ステージの可動ストロークを変更することなく、ガラス基板等の両面に対して正確にアライメントでき、基板の両面に対して所定パターンを投影露光できる露光装置を提供すること。【解決手段】 感光性基8板を保持する基板ステージ15と、前記感光性基板上に形成された検出マークWMに検出光を照射して前記検出マークからの光に基づいてマークの位置に関する情報を検出するアライメント系AS1、AS2と、前記アライメント系からの出力を利用してマスクのパターンを前記感光性基板上に転写する露光装置において、前記基板ステージに基準マーク部材9を配置し、前記基準マーク部材は、前記アライメント系の光軸方向に沿った互いに異なる位置に少なくとも2つの基準マーク9A、9Bを有する。

請求項（抜粋）：

感光性基板を保持する基板ステージと、前記感光性基板上に形成された検出マークに検出光を照射して前記検出マークからの光に基づいてマークの位置に関する情報を検出するアライメント系と、前記アライメント系からの出力を利用してマスクのパターンを前記感光性基板上に転写する露光装置において、前記基板ステージに基準マーク部材を配置し、前記基準マーク部材は、前記アライメント系の光軸方向に沿った互いに異なる位置に少なくとも2つの基準マークを有することを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00

FI (5件)：

H01L 21/30 523 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 520 A ,  H01L 21/30 526 A

Fターム (19件)：

5F046AA15 ,  5F046BA04 ,  5F046BA05 ,  5F046EB01 ,  5F046EB02 ,  5F046EB03 ,  5F046EC03 ,  5F046ED03 ,  5F046FA02 ,  5F046FA05 ,  5F046FA09 ,  5F046FB01 ,  5F046FB08 ,  5F046FB09 ,  5F046FB10 ,  5F046FB12 ,  5F046FB17 ,  5F046FC07 ,  5F046FC09