プラズマディスプレイパネルの背面板の製造方法及びドライフイルム

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉田勝広 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-121478
公開番号（公開出願番号）：特開平10-302631
出願日： 1997年04月25日
公開日（公表日）： 1998年11月13日
要約：

【要約】【課題】工程が簡略であり、且つセル表面に密着した均一な蛍光体層と十分なセル空間とを有するPDP背面板を提供すること。【解決手段】基板上に形成された複数のバリヤーリブ間の壁面及び底面に非感光性蛍光体含有層を形成する工程、該蛍光体含有層上のバリヤーリブ間に蛍光体を実質的に含有しない感光性樹脂層を形成する工程、該感光性樹脂層を所望のパターンを有するフォトマスクを介して露光する工程、非露光領域の感光性樹脂層を現像除去する工程、非露光領域の蛍光体含有層を除去する工程、露光領域の感光性樹脂層を除去する工程及び露光領域の蛍光体含有層を焼成する工程を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの背面板の製造方法、及び該方法に使用するドライフイルム。

請求項（抜粋）：

基板上に形成された複数のバリヤーリブ間の壁面及び底面に非感光性蛍光体含有層を形成する工程、該蛍光体含有層上のバリヤーリブ間に蛍光体を実質的に含有しない感光性樹脂層を形成する工程、該感光性樹脂層を所望のパターンを有するフォトマスクを介して露光する工程、非露光領域の感光性樹脂層を現像除去する工程、非露光領域の蛍光体含有層を除去する工程、露光領域の感光性樹脂層を除去する工程及び露光領域の蛍光体含有層を焼成する工程を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの背面板の製造方法。

IPC (3件)：

H01J 9/227 , G03F 7/004 505 , G03F 7/32

FI (3件)：

H01J 9/227 E , G03F 7/004 505 , G03F 7/32

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