特許

J-GLOBAL ID：200903041062803618

ペースト塗布機のノズル位置決め方法

発明者： 石田 茂 ,  米田 福男 ,  三階 春夫
出願人/特許権者： 日立テクノエンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 武 顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-197317
公開番号（公開出願番号）：特開平5-015819
出願日： 1991年07月12日
公開日（公表日）： 1993年01月26日
要約：

【要約】【目的】 ペ-ストカ-トリッジを交換しても、その取付け精度に拘らず、ノズルの先端と基板の間隔を所望のものとし、かつ基板上を清浄に保つ。【構成】 基板吸着部8上に測定用治具16を載置し、ペースト収納筒2に設けられたノズル1の先端をこの測定用治具16に当接させ、このときの距離センサ3から測定用治具16までの距離d1を距離センサ3で得る。次に、測定用治具16に代えて基板7を載置し、距離センサ3から基板7までの距離d3が上記のように得られた距離d1とノズル1の先端、基板7間の所望とする間隔d2との和に一致するように、距離センサ3で基板7までの距離を測定しながらペースト収納筒2と距離センサ3とを基板7の方に移動させる。これにより、ノズル1の先端と基板7との間隔は所望の間隔d2となる。

請求項（抜粋）：

ペースト収納筒の先端に設けられたノズルのペースト吐出口に対向させて基板を移動可能なテ-ブル上に保持し、該ノズルから該ペースト収納筒に充填されたペ-ストを吐出させながら該基板を該ノズルと相対的に移動させ、該基板上にペーストによる所望のパタ-ンを描画するペースト塗布機において、該テ-ブル上に保持された測定用治具に該ノズルの吐出口を当接させたときの該ペースト収納筒と一定の位置関係にある距離センサの検出出力を得る第1の工程と、該測定用治具に変えて該テ-ブル上に該基板を保持する第2の工程と、該第2の工程後該距離センサの検出出力を得る第3の工程と、該第3の工程で得られた該距離センサの検出出力が該第1の工程で得られた該距離センサの検出出力と該ノズルのペースト吐出口、該基板間の所望の間隔との和に一致するように、該ペースト収納筒と該距離センサとを該基板に対して移動させる第4の工程とからなることを特徴とするペースト塗布機のノズル位置決め方法。

IPC (2件)：

B05B 13/04 ,  G02F 1/1339 505

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭59-000358
  
• 特開昭55-003841
  
• 特開平1-122127