特許
J-GLOBAL ID：200903041073515177
磁気センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-260544
公開番号（公開出願番号）：特開平9-102638
出願日： 1995年10月06日
公開日（公表日）： 1997年04月15日
要約：
【要約】【課題】 等方位的な外部磁界強度のみを正確に検出することが可能であり、例えば外部磁界が1ガウス程度の微弱磁界でも検出することができる磁気センサを提供する。【解決手段】 非磁性基板1上に、幅狭な線条をなし、回転対称な閉ループ形状、ここでは円形状をなすとともに、外部磁界Hに対して等方位的となるようにMR素子2をスパッタ法や真空蒸着法等の真空薄膜形成技術により成膜形成する。
請求項（抜粋）：
非磁性基板上に幅狭な線条の磁気抵抗効果素子が回転対称な閉ループ形状をなして配されていることを特徴とする磁気センサ。
IPC (4件)：
H01L 43/08
, G01C 17/32
, G01R 33/09
, H01L 43/12
H01L 43/08 P
, G01C 17/32
, H01L 43/12
, G01R 33/06 R
