特許
J-GLOBAL ID：200903041083107794
硬X線平版印刷用照射装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-320658
公開番号（公開出願番号）：特開平7-326572
出願日： 1994年12月22日
公開日（公表日）： 1995年12月12日
要約：
【要約】【目的】少量のエネルギー消費にて照射に必要な調節精度を確実にし、調節位置に無制御に影響を及ぼす大気作用状態の変化等に左右されることを排除する。【構成】真空室1に包囲され、キャリヤ2に固定され、位置決め手段4によりビームに対して移動可能であり、照射される物品を受容すると同時に調節要素を受容するのにも好適なホルダを有する物体スタンド3を備える。キャリヤ2、物体スタンド3及び位置決め手段4並びに真空室1間において、第1の分離たわみ継手9が設けられ、一方がキャリヤ2に連結され、他方がフレーム7に固定された壁部11,12間において、第2の分離たわみ継手10が設けられ、当該2つの分離たわみ継手9,10の表面は同一規模の外部気圧に対抗する。真空室1及び第2分離たわみ継手10によって壁部11,12により画定された空間が圧力均衡のために連通される。
請求項（抜粋）：
照射される物品を保持されるべき物体として受容するための物体スタンドと、ビームに対して物体スタンドを移動させる位置決め手段とのためのキャリヤを第1の真空室に有する硬X線平版印刷用の照射装置において、前記物体スタンド(3)が保持される物体(16)として照射される物体に替えて調節要素を受容することにも好適な取付具を有し、前記物体スタンド(3)と位置決め手段(4)とともに調節のためにフレーム(7)の調節手段(6)におけるビームに対して配置されたキャリヤ(2)と、フレーム(7)に連結された真空室(1)との間に第1の分離たわみ継手(9)を設け、片方の壁部(11)がキャリヤ(2)に連結されるとともに、他方の壁部(12)がフレーム(7)に連結された壁部(11,12)間に第2の分離たわみ継手(10)を設け、該2つの分離たわみ継手(9,10)の表面は同一規模の外部気圧に対抗し、前記真空室(1)と、第2分離たわみ継手(10)により壁部(11,12)によって画定された空間とが圧力均衡のために連通された照射装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 503
